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产品资料
方腔式电子束蒸发镀膜设备
简介:

Temescal电子束蒸发系统是为更高效率、高精准镀膜产能而设计的物理气相沉积生产型设备。这个指导原则支配着Temescal整个产品线的设计思想。Temescal经典系列系统符合人体工程学设计,具备强大的生产能力和高均匀性。

产品详情

FC-2800和BCD-2800是适合洁净室使用的镀膜机,具有高效生产的特点。它们的源基间距可选34”(866mm) 或者42”(1067mm),适合lift-off工艺。这两款系统都可以配置成独立机台或者穿墙式洁净室安装,都支持镀膜源、材料进给、加热、清洗等附件的各种组合。

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