UEFC-4900
UEFC-4900是UEFC-5700的紧凑版。该系统的源基间距和腔室角度专门为150mm晶圆工艺做了优化设计。 强大的中等生产设备 UEFC-4900是用于lift-off工艺的、 高均匀性的、 中等产能的蒸镀设备。 Auratus方法论提高了有效的薄膜沉积速率，使得客户能更快的制造晶圆。 与传统的箱体式镀膜机相比， UEFC-4900具有以下特点： · 大的装片量－25片150mm晶圆 · 在不增加设备占地和功耗的情况下获得额外的40％晶圆装片量 · 15分钟内抽真空至5E-07Torr · 高真空泵水蒸气总抽速36500L/s · 显著减少的腔室体积和内表面积
UEFC-5700 UEFC-5700是一款采用Auraus薄膜沉积工艺改进方法论的Temescal系统，极大地改善了lift-off镀膜工艺。 不使用或仅使用极小型的均匀性修正板即可获得很好的均匀性，并且还能减少高达40％的材料消耗。 超高产能的设备 UEFC-5700是用于lift-off工艺的高产能的蒸镀设备。 Auratus方法论提高了有效的薄膜沉积速率，使得客户能更快的制造晶圆。 与传统的箱体式镀膜机相比，UEFC-5700具有以下特点： · 超大的装片量－42片150mm晶圆 · 在不增加设备占地和功耗的情况下获得额外的40％晶圆装片量 · 10分钟内抽真空至5E-07Torr · 高真空泵水蒸气总抽速44000L/s · 显著减少的腔室体积和内表面积