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产品资料
非接触光学表面曲翘度测量仪
简介:

CT 300是一台非接触式的光学表面测量仪,具备高达315毫米的X/Y运动行程。它可以处理*大12英寸的晶圆或其他大型样品。使用白光传感器和高达20 kHz的数据收集率,检测效率大大提高。共焦显微镜和三维白光干涉仪传感器在z方向上提供****的分辨率,低至0.1纳米。

产品详情

设备特点:

CHR白光共聚焦传感器,采样频率4kHz – 20kHz

可实现组合式测量

*大315mm x 315mm扫描范围

分辨率低至3nm,测量范围*高可达25mm

适用领域:厚膜印刷电路,混合电路(Hybrid Circuit)、BGA、TAB 及 FLIP/CHIP厚度测量,PCB基板形变量,半导体元件及晶圆平整度、曲翘度,铜箔厚度及粗糙度,封装凸块检测。

 


应用案例:

1、LED器件的几何形状测量

 


2、晶圆的平整度测量

 


3、光学器件的表面粗糙度测量

 


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